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RTP SiC コーティングキャリア

Semicorex RTP SiC コーティングキャリアは、優れた耐熱性と熱均一性を備え、半導体ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。高品質の SiC コーティングされたグラファイトを備えたこの製品は、エピタキシャル成長のための最も過酷な堆積環境に耐えるように設計されています。高い熱伝導率と優れた熱分布特性により、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄において信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。

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ICPプラズマエッチングトレイ

Semicorex の ICP プラズマエッチングトレイは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセス向けに特別に設計されています。当社のキャリアは、最大 1600°C までの安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガスフローパターンを提供し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。

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ICPプラズマエッチング装置

Semicorex の ICP プラズマエッチングシステム用 SiC コーティングキャリアは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセスにとって信頼性が高くコスト効率の高いソリューションです。当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を提供する微細な SiC 結晶コーティングを備えています。

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PSSエッチング用エッチングキャリアホルダー

Semicorex の PSS エッチング用エッチングキャリアホルダーは、最も要求の厳しいエピタキシー装置用途向けに設計されています。当社の超高純度グラファイトキャリアは、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄に耐えることができます。 SiC コーティングされたキャリアは、優れた熱分布特性と高い熱伝導率を備え、コスト効率に優れています。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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液相エピタキシー (LPE) リアクターシステム

Semicorex 液相エピタキシー (LPE) リアクターシステムは、優れた熱性能、均一な熱プロファイル、および優れたコーティング密着性を提供する革新的な製品です。高純度、高温酸化耐性、耐食性により、半導体産業での使用に最適です。カスタマイズ可能なオプションとコスト効率により、市場での競争力の高い製品となっています。

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SiC コーティングされたバレルサセプター

高い融点、耐酸化性、耐食性を備えた Semicorex SiC コーティングバレルサセプタは、単結晶成長用途での使用に最適です。炭化ケイ素コーティングは優れた平坦性と熱分布特性を提供し、最も要求の厳しい高温環境でも信頼性の高い一貫したパフォーマンスを保証します。

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