中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

SiC コーティングは、化学蒸着 (CVD) プロセスによるサセプタ上の薄層です。炭化ケイ素材料は、シリコンよりも多くの利点を提供します。たとえば、絶縁破壊電界強度が 10 倍、バンド ギャップが 3 倍であり、材料に高温および耐薬品性、優れた耐摩耗性、熱伝導率を提供します。

Semicorex は、カスタマイズされたサービスを提供し、長持ちするコンポーネントの革新を支援し、サイクル タイムを短縮し、歩留まりを向上させます。

SiCコーティングにはいくつかの独自の利点があります

高温耐性: CVD SiC コーティングされたサセプターは、大きな熱劣化を受けることなく、1600°C までの高温に耐えることができます。

耐薬品性：炭化ケイ素コーティングは、酸、アルカリ、有機溶剤を含む幅広い化学薬品に対して優れた耐性を提供します。

耐摩耗性: SiC コーティングは材料に優れた耐摩耗性を提供し、摩耗や損傷の多い用途に適しています。

熱伝導率: CVD SiC コーティングは材料に高い熱伝導率を提供し、効率的な熱伝達を必要とする高温用途での使用に適しています。

高い強度と剛性: 炭化ケイ素でコーティングされたサセプターは、材料に高い強度と剛性を提供し、高い機械的強度を必要とする用途に適しています。

SiCコーティングは様々な用途で使用されています

LED 製造: CVD SiC コーティングされたサセプターは、その高い熱伝導率と耐薬品性に​​より、青色および緑色 LED、UV LED、深紫外 LED を含むさまざまなタイプの LED の製造プロセスに使用されます。

モバイル通信: CVD SiC コーティングされたサセプタは、GaN-on-SiC エピタキシャル プロセスを完了するための HEMT の重要な部分です。

半導体処理: CVD SiC コーティングされたサセプターは、ウエハー処理やエピタキシャル成長など、さまざまな用途で半導体業界で使用されています。

SiC コーティングされたグラファイト コンポーネント

シリコン カーバイド コーティング (SiC) グラファイト製で、コーティングは特定のグレードの高密度グラファイトに CVD 法で適用されるため、不活性雰囲気で 3000 °C 以上、真空で 2200 °C の高温炉で動作できます。 .

材料の特別な特性と低質量により、高速な加熱速度、均一な温度分布、優れた精度の制御が可能になります。

Semicorex SiCコーティングの材料データ

結論 CVD SiC コーティングされたサセプタは、サセプタと炭化ケイ素の特性を組み合わせた複合材料です。この材料は、高温および耐薬品性、優れた耐摩耗性、高い熱伝導率、および高い強度と剛性などの独自の特性を備えています。これらの特性により、半導体処理、化学処理、熱処理、太陽電池製造、LED 製造など、さまざまな高温用途に魅力的な材料となっています。