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中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

SiC コーティングは、化学蒸着 (CVD) プロセスによるサセプタ上の薄層です。炭化ケイ素材料は、シリコンよりも多くの利点を提供します。たとえば、絶縁破壊電界強度が 10 倍、バンド ギャップが 3 倍であり、材料に高温および耐薬品性、優れた耐摩耗性、熱伝導率を提供します。

Semicorex は、カスタマイズされたサービスを提供し、長持ちするコンポーネントの革新を支援し、サイクル タイムを短縮し、歩留まりを向上させます。


SiCコーティングにはいくつかの独自の利点があります

高温耐性: CVD SiC コーティングされたサセプターは、大きな熱劣化を受けることなく、1600°C までの高温に耐えることができます。

耐薬品性:炭化ケイ素コーティングは、酸、アルカリ、有機溶剤を含む幅広い化学薬品に対して優れた耐性を提供します。

耐摩耗性: SiC コーティングは材料に優れた耐摩耗性を提供し、摩耗や損傷の多い用途に適しています。

熱伝導率: CVD SiC コーティングは材料に高い熱伝導率を提供し、効率的な熱伝達を必要とする高温用途での使用に適しています。

高い強度と剛性: 炭化ケイ素でコーティングされたサセプターは、材料に高い強度と剛性を提供し、高い機械的強度を必要とする用途に適しています。


SiCコーティングは様々な用途で使用されています

LED 製造: CVD SiC コーティングされたサセプターは、その高い熱伝導率と耐薬品性に​​より、青色および緑色 LED、UV LED、深紫外 LED を含むさまざまなタイプの LED の製造プロセスに使用されます。



モバイル通信: CVD SiC コーティングされたサセプタは、GaN-on-SiC エピタキシャル プロセスを完了するための HEMT の重要な部分です。



半導体処理: CVD SiC コーティングされたサセプターは、ウエハー処理やエピタキシャル成長など、さまざまな用途で半導体業界で使用されています。





SiC コーティングされたグラファイト コンポーネント

シリコン カーバイド コーティング (SiC) グラファイト製で、コーティングは特定のグレードの高密度グラファイトに CVD 法で適用されるため、不活性雰囲気で 3000 °C 以上、真空で 2200 °C の高温炉で動作できます。 .

材料の特別な特性と低質量により、高速な加熱速度、均一な温度分布、優れた精度の制御が可能になります。


Semicorex SiCコーティングの材料データ

代表的な特性

単位

構造


FCC β 相

オリエンテーション

分数 (%)

111優先

かさ密度

g/cm³

3.21

硬度

ビッカース硬度

2500

熱容量

J・kg-1・K-1

640

熱膨張 100…600 °C (212…1112 °F)

10-6K-1

4.5

ヤング率

Gpa (4pt ベンド、1300â)

430

粒度

μm

2~10

昇華温度

2700

強靭な強さ

MPa(RT 4点)

415

熱伝導率

(W/mK)

300


結論 CVD SiC コーティングされたサセプタは、サセプタと炭化ケイ素の特性を組み合わせた複合材料です。この材料は、高温および耐薬品性、優れた耐摩耗性、高い熱伝導率、および高い強度と剛性などの独自の特性を備えています。これらの特性により、半導体処理、化学処理、熱処理、太陽電池製造、LED 製造など、さまざまな高温用途に魅力的な材料となっています。






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Semicorex 炭化ケイ素ボート ホルダーは、SiC 素材から作られた特殊な製品で、太陽光発電、エレクトロニクス、半導体などの産業での用途向けに細心の注意を払って設計されています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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サポートるつぼ

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シリコンエピタキシー用SiCバレル

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Semicorex シリコン エピタキシー用 SiC バレルは、アプライド マテリアルズおよび LPE ユニットの厳しい要件を満たすように設計されています。精度と革新性を備えて作られたこの樽型サセプターは、高品質の SiC コーティングされたグラファイトから製造されており、シリコン エピタキシー アプリケーションにおいて優れた性能と耐久性を保証します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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SiCコーティングを施したグラファイトサセプター

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Semicorex は 炭化ケイ素コーティング を長年生産しており、中国のプロの 炭化ケイ素コーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
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