中国 ハーフパーツ メーカー、サプライヤー、工場

Semicorex ハーフムーン コンポーネントは、LPE スタイルのエピタキシャル成長チャンバーで使用するために設計された、精密に設計されたグラファイトおよび炭化ケイ素でコーティングされたリアクター部品です。これらのコンポーネントは、半導体製造で使用される高温エピタキシャル堆積プロセス中の熱均一性、ガス流の安定性、およびプロセスの清浄度を維持する上で重要な役割を果たします。 Semicorex は、LPE チャンバー構造と互換性のあるカスタマイズされたリアクター コンポーネントの製造を専門とし、先進的なエピタキシャル処理システム向けの高性能ソリューションを世界中に提供しています。*

Semicorex SiC コーティングされたハーフムーン部品は、エピタキシャル装置の必須要素として設計された精密設計コンポーネントであり、2 つの半月型セクションが結合して完全なコアアセンブリを形成します。 Semicorex を選択するということは、高度な半導体製造のための安定したウェーハサポートと効率的な熱伝導を保証する、信頼性が高く、高純度で耐久性のあるソリューションを確保することを意味します。*