パンケーキサセプタは、半導体プロセスで使用される円形のウエハキャリアです。
エピタキシーは、半導体ウェーハ上にエピタキシャル層を成長させる半導体プロセスの重要なステップであり、ウェーハはグラファイトサセプタ上に置かれます。グラファイトサセプターの品質は、エピウェーハの品質に大きく影響します。
炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター
Semicorex は、以下を含むすべてのエピタキシー リアクター用のサセプターとコンポーネントを供給しています。バレルサセプターそしてパンケーキサセプター。高純度グラファイトとCVD SiCコーティングを使用しています。
Semicorex SiC コーティング フラット サセプタは、半導体製造における正確なエピタキシャル成長用に設計された高性能基板ホルダーです。 CVD プロセスの効率と精度を向上させる、信頼性と耐久性に優れた高品質のサセプタを得るには、Semicorex をお選びください。*
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC コーティング パンケーキ サセプタは、MOCVD システムで使用するために設計された高性能コンポーネントで、エピタキシャル層成長中の最適な熱分布と耐久性の向上を保証します。半導体製造特有の要求を満たすように調整され、優れた品質、信頼性、長い耐用年数を提供する精密設計製品のセミコレックスをお選びください。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex MOCVD SiC コーティング グラファイト サセプタは、半導体、光電子デバイス、その他の先端材料の製造において重要な技術である有機金属化学気相成長プロセスで使用される高度で特殊なコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信当社の最先端の CVD SiC パンケーキ サセプタを使用して、半導体製造における精度の頂点を解き放ちます。このディスク型コンポーネントは、半導体装置用に専門的に設計されており、高温のエピタキシャル堆積プロセス中に薄い半導体ウェーハをサポートするための重要な要素として機能します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex ウェハエピタキシャルプロセス用パンケーキサセプタは、高純度グラファイトベースに CVD SiC コーティングを施したものです。当社のウェーハエピタキシャルプロセス用パンケーキサセプタは価格面で優れており、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex は、高品質の CVD SiC コーティングされたグラファイト パンケーキ サセプタを提供します。当社は長年にわたり黒鉛材料の製造および供給を行ってきました。当社の CVD SiC コーティングされたグラファイト パンケーキ サセプタは価格面で優れており、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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