パンケーキサセプタは、半導体プロセスで使用される円形のウエハキャリアです。
エピタキシーは、半導体ウェーハ上にエピタキシャル層を成長させる半導体プロセスの重要なステップであり、ウェーハはグラファイトサセプタ上に置かれます。グラファイトサセプターの品質は、エピウェーハの品質に大きく影響します。
炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター
Semicorex は、以下を含むすべてのエピタキシー リアクター用のサセプターとコンポーネントを供給しています。バレルサセプターそしてパンケーキサセプター。高純度グラファイトとCVD SiCコーティングを使用しています。