MOCVD法による炭化ケイ素コーティングを施したセミコレックスウエハチャックは、耐急冷性、耐加熱性、耐摩耗性、超長寿命特性に優れています。半導体産業におけるチップ製造時のさまざまなプロセスで、Si ウェーハのプレートを保持およびサポートするのに最適な材料です。
●剛性
●低熱膨張
● 軽量