エンドエフェクターは、ウェーハ処理装置とキャリア内の位置間で半導体ウェーハを移動させるロボットのハンドです。エンドエフェクターは、デバイスを損傷したり微粒子汚染を生成したりすることなくウェーハを安全に取り扱うために、寸法が正確で熱的に安定であると同時に、滑らかで耐摩耗性の表面を備えている必要があります。
Semicorex の高純度炭化ケイ素 (SiC) コーティング コンポーネントは、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。
Semicorex Alumina Ceramic Armは、半導体製造における正確および汚染のないウェーハの取り扱い用に設計された高純度のロボットコンポーネントです。 Semicorexを選択すると、高度なアルミナセラミックの材料品質だけでなく、重要なプロセス環境での耐久性、清潔さ、信頼性を保証する精密な職人技も確保されます。*
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