エンドエフェクターは、ウェーハ処理装置とキャリア内の位置間で半導体ウェーハを移動させるロボットのハンドです。エンドエフェクターは、デバイスを損傷したり微粒子汚染を生成したりすることなくウェーハを安全に取り扱うために、寸法が正確で熱的に安定であると同時に、滑らかで耐摩耗性の表面を備えている必要があります。
Semicorex の高純度炭化ケイ素 (SiC) コーティング コンポーネントは、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。