中国 カンチレバーパドル メーカー、サプライヤー、工場

処理中、半導体ウェーハは専用の炉で加熱する必要があります。リアクターは細長い円筒形のチューブで構成されており、その中でウエハは所定の等間隔でウエハ ボート上に配置されます。チャンバ内の処理条件に耐え、処理装置、ウエハ ボート、および多くの装置からのウエハへの無駄を最小限に抑えるため、ウェーハ処理に使用される他のデバイスは、炭化ケイ素 (SiC) などの材料で製造されています。

処理されるウェーハのバッチを積んだボートは、長い片持ち梁状のパドル上に配置され、それによって管状炉や反応器に挿入したり、管状炉や反応器から取り出したりすることができます。パドルは、１つまたは複数のボートを配置できる平らなキャリアセクションと、平らなキャリアセクションの一端に配置され、パドルを取り扱うことができる長いハンドルとを含む。

カンチレバー パドルには、CVD SiC 薄層を備えた再結晶炭化ケイ素を使用することをお勧めします。これは高純度であり、半導体プロセスのコンポーネントに最適です。

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