炭化ケイ素セラミック (SiC) は、ケイ素と炭素を含む先進的なセラミック素材です。炭化ケイ素の粒子は焼結によって結合し、非常に硬いセラミックを形成します。 Semicorex は、お客様のご要望に応じてカスタム炭化ケイ素セラミックを供給します。
アプリケーション
炭化ケイ素セラミックでは、1,400°C を超える温度まで材料特性が一定に保たれます。 400 GPa を超える高いヤング率により、優れた寸法安定性が保証されます。
炭化ケイ素コンポーネントの一般的な用途は、ポンプや駆動システムなど、摩擦ベアリングやメカニカル シールを使用するダイナミック シール技術です。
炭化ケイ素セラミックは、その高度な特性により、半導体産業での使用にも最適です。
ウエハーボート →
Semicorex Wafer Boat は焼結炭化ケイ素セラミック製で、耐腐食性が高く、高温や熱衝撃に対する優れた耐性を備えています。高度なセラミックは、大容量ウェーハキャリアの粒子や汚染物質を軽減しながら、優れた耐熱性とプラズマ耐久性を実現します。
反応焼結炭化ケイ素
反応焼結は他の焼結法に比べて緻密化時の寸法変化が小さく、高精度な寸法の製品を製造することができます。しかしながら、焼結体中に多量のSiCが存在すると、反応焼結SiCセラミックスの高温性能が悪化する。
無加圧焼結炭化ケイ素
無加圧焼結炭化ケイ素 (SSiC) は、特に軽量であると同時に硬い高性能セラミックです。 SSiC は、極端な温度でもほぼ一定に保たれる高い強度が特徴です。
再結晶炭化ケイ素
再結晶炭化ケイ素(RSiC)は、高純度炭化ケイ素粗粉と高活性炭化ケイ素微粉を混合し、注入後2450℃で真空焼結して再結晶させた次世代材料です。
セミコレックスCVD SiCコートウエハボートは、高信頼性、優れた清浄度、長寿命を特長とする超高純度炭化ケイ素製の高精度セラミック搬送ツールです。 Semicorex CVD SiC コーティングされたウェーハボートは、ウェーハ熱処理の理想的なソリューションとして機能し、搬送および処理段階でウェーハの安全かつ安定した位置決めを実現できます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex 炭化ケイ素キルン ビームは、高品質の反応結合炭化ケイ素セラミックから精密に製造された高性能セラミック構造部品です。 Semicorex 炭化ケイ素キルン ビームは、複数の信頼できる性能を備えており、高温、強い腐食、重荷重などの過酷な動作条件に最適なオプションです。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex 炭化ケイ素カンチレバー パドルは、炭化ケイ素材料から精巧に製造された高性能セラミック コンポーネントです。 Semicorex 炭化ケイ素カンチレバー パドルは、ウェーハローディング システムに不可欠なコンポーネントとして、高温の半導体熱処理プロセスでの支持と搬送の役割を果たします。 Semicorex を選択することは、最適なセラミック ソリューションが得られることを意味します。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC 熱交換器チューブは、高品質の炭化ケイ素セラミックから製造されており、高効率の熱伝導と熱交換を実現するように設計されています。セミコレックスSiC熱交換器チューブは、熱伝導性、耐高温性、耐食性、機械的強度に優れており、シェルアンドチューブ式熱交換器に欠かせないコア部品です。
続きを読むお問い合わせを送信セミコレックスSiC熱交換チューブは、シェルアンドチューブ熱交換器の中核となる炭化ケイ素セラミックス製の高性能チューブ状部品です。 Semicorex SiC 熱交換チューブは、炭化ケイ素セラミックの優れた特性を活用し、高温、高圧、強力な化学腐食、高速ガス衝撃、粒子摩耗などの厳しい環境に最適です。
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