フォーカス リングまたはエッジ リングは、ウェーハのエッジまたは周囲のエッチングの均一性を向上させるように設計されています。
Semicorex フォーカス リングは、化学蒸着 (CVD) を使用して炭化ケイ素でコーティングされており、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供し、プラズマ エッチングまたはドライ エッチング プロセスにおける極端な環境に耐えるように構築されています。 。