フォーカス リングまたはエッジ リングは、ウェーハのエッジまたは周囲のエッチングの均一性を向上させるように設計されています。
Semicorex フォーカス リングは、化学蒸着 (CVD) を使用して炭化ケイ素でコーティングされており、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供し、プラズマ エッチングまたはドライ エッチング プロセスにおける極端な環境に耐えるように構築されています。 。
Semicorex SiC フォーカス リングは、半導体製造におけるプラズマ分布とウェーハ プロセスの均一性を最適化するように設計された高純度炭化ケイ素リング コンポーネントです。 Semicorex を選択するということは、世界中の主要な半導体製造工場から信頼される、一貫した品質、高度な材料エンジニアリング、信頼性の高いパフォーマンスを保証することを意味します。
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