PSS (パターン化サファイア基板) エッチング キャリアは、LED デバイスの製造に使用されます。 PSS エッチング キャリアは、LED 構造を形成する窒化ガリウム (GaN) の薄膜を成長させるための基板として機能し、その後エッチング プロセスを経ます。そのため、耐熱性や耐食性の高い材料が求められます。 Semicorex SiC コーティングされた PSS エッチング キャリアは、これらの要求の厳しいエピタキシー装置用途向けに特別に設計されています。キャリアはCVD法によりコーティングされた炭化ケイ素であり、熱伝導率も高く、熱分布特性にも優れています。