PSS LED用エッチングキャリアトレイ

Semicorex の LED 用 PSS エッチング キャリア トレイは、エピタキシャル成長およびウェーハ取り扱いプロセスに必要な過酷な環境向けに設計されています。当社の超高純度グラファイト キャリアは、MOCVD やエピタキシー サセプタ、パンケーキ、またはサテライト プラットフォームなどの薄膜堆積フェーズ中にウェーハをサポートするように設計されています。 SiCコートキャリアは耐熱性、耐食性が高く、熱分布特性に優れ、熱伝導率も高いです。当社の製品は費用対効果が高く、価格面でも大きなメリットがあります。当社は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場に対応しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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LED用PSSエッチングキャリアトレイのパラメータ

LED用PSSエッチングキャリアトレイの特長

- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。

高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定

高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。

耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

- 最適な層流ガス流パターンを実現

- 熱プロファイルの均一性を保証

- 汚染や不純物の拡散を防止します。