中国 CVD炉 メーカー、サプライヤー、工場

化学気相成長 (CVD) プロセスに使用される CVD 炉。化学蒸着は、蒸発した前駆体ガスと加熱された表面との間の化学反応を使用して、基板上に薄膜を蒸着するプロセスです。

CVD 炉は通常、真空チャンバー、ガス供給システム、加熱システム、および基板ホルダーで構成されます。真空チャンバーは、不純物が堆積プロセスに干渉するのを防ぐために、堆積環境から空気やその他のガスを除去するために使用されます。ガス供給システムは、前駆体ガスを基板表面に供給し、そこで反応して所望の薄膜を形成します。加熱システムは、反応が起こるのに必要な温度まで基板を加熱します。基板ホルダーは、蒸着プロセス中に基板を所定の位置に保持するために使用されます。

CVD プロセスでは、前駆体ガスが真空チャンバーに導入され、分解して反応する温度まで加熱されて、加熱された基板上に薄膜が形成されます。成膜環境の温度と圧力は、所望の膜特性が確実に達成されるように慎重に制御されます。

CVD 炉は、集積回路や太陽電池などのマイクロ電子デバイスの製造用の薄膜を堆積するために半導体産業で広く使用されています。また、コーティング、光ファイバー、超伝導体などの先端材料の製造にも使用されます。