ウェーハボートは、ウェーハハンドリングなどの半導体プロセス中に炭化ケイ素 (SiC) ウェーハを保持および加熱するために使用される特殊なコンテナです。
Semicorex ウェーハボートは SiC セラミックで作られており、高強度、低熱膨張、耐腐食性など、優れた機械的、熱的、化学的特性を備えています。