中国 多孔質黒鉛 メーカー、サプライヤー、工場

現在、ほとんどの SiC 基板製造業者は、ホットフィールドプロセス用に多孔質グラファイトシリンダーを使用するるつぼ設計を使用しています。このプロセスでは、るつぼを深くして直径を大きくしながら、黒鉛るつぼの壁と多孔質黒鉛シリンダーの間に高純度の SiC 粒子を配置します。これにより、原料の蒸発面積が増加すると同時に、充填量も増加します。

新しいプロセスは、原料表面の成長に伴う原料上部の再結晶化によって発生し、昇華した材料のフラックスに影響を与える結晶欠陥の問題を解決します。さらに、この新プロセスにより、結晶成長に対する原料領域の温度分布の感度が低下し、物質移動効率が安定し、成長後期における炭素含有物の影響が低減され、SiC結晶の品質がさらに向上します。さらに、新プロセスでは種結晶を固着させない種結晶トレイ固定方式を採用し、熱膨張をなくし応力緩和を容易にしています。この新しいプロセスにより、熱場が最適化され、膨張効率が大幅に向上します。

この新しいプロセスで得られるSiC単結晶の品質と収率は、るつぼ黒鉛と多孔質黒鉛の物理的特性に大きく依存することに注意することが重要です。しかし、現在、市場の供給は拡大する需要に比べて非常に不足しています。

多孔質グラファイトの主な特徴:

適切な細孔径分布。

十分に高い気孔率。

加工および使用要件を満たす機械的。

Semicorex は、お客様の要件に応じてカスタマイズされた高品質の多孔質黒鉛製品を提供します。