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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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|
上記は代表的な値です |
|
- View as
多孔質タンタルカーバイドリング
Semicorex 多孔質炭化タンタル リングは、炭化ケイ素 (SiC) 結晶成長の物理蒸気輸送 (PVT) プロセス用に特別に設計された高性能耐火部品で、優れた熱安定性と制御されたガス透過性を提供するモノリシック焼結構造を特徴としています。
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TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ サセプタ
Semicorex TaC コーティングされたグラファイト ウェハ サセプタは、高度な半導体エピタキシャル プロセス中に半導体ウェハを安定して支持し、位置決めするために通常適用される最先端のコンポーネントです。 Semicorex は、最先端の生産技術と成熟した製造経験を活用して、市場をリードする品質のカスタム設計の TaC コーティンググラファイトウェハサセプタを大切なお客様に提供することに尽力しています。
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CVD TaC コーティングサセプタ
Semicorex CVD TaC コーティング サセプタは、緻密な TaC コーティングを施した高性能グラファイト サセプタで、要求の厳しい SiC エピタキシャル成長プロセスに優れた熱均一性と耐食性を提供するように設計されています。 Semicorex は、高度な CVD コーティング技術と厳格な品質管理を組み合わせて、世界的な SiC エピ メーカーから信頼される長期耐久性の低汚染サセプタを提供します。
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炭化タンタルコーティングガイドリング
Semicorex タンタルカーバイドコーティングガイドリングは、半導体結晶成長装置で使用される高性能リング部品です。これらは、結晶成長中に適切な温度勾配と安定した空気の流れ環境を作り出すように特別に設計されています。 Semicorex タンタルカーバイドコーティングガイドリングを選択することで、比類のないコーティング技術と高効率で安定した生産経験の恩恵を受けることができます。
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TaC コーティングされたグラファイトるつぼ
Semicorex TaCコーティンググラファイトルツボは、半導体製造プロセスに最適な材料であるタンタルカーバイドグラファイトをCVD法でコーティングして作られています。セミコレックスは一貫してCVDセラミックコーティングに特化し、半導体業界に最高の材料ソリューションを提供する会社です*。
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エピタキシャル成長における TaC コーティング部品
Semicorex エピタキシャル成長用 TaC コーティング部品は、半導体のエピタキシャルプロセスの空気取り入れ口に位置する貴重な機械加工部品です。セミコレックスは、中国におけるCVD TaCコーティング技術に特化し、世界中に製品を輸出している一流企業です*。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
