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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
|
|
|
|
上記は代表的な値です |
|
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CVD TACコーティングリング
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