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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメーター |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500â |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
±20um代表値(35um±10um) |
|
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|
|
上記は代表的な値です |
|
- View as
TaCコーティングを施した多孔質グラファイト
TaC コーティングを施した Semicorex 多孔質グラファイトは、炭化ケイ素 (SiC) 結晶の成長における重要な課題に対処するために設計された特殊な材料です。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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炭化タンタル被覆多孔質グラファイト
Semicorex 炭化タンタルコーティング多孔質グラファイトは、炭化ケイ素 (SiC) 結晶成長技術における最新のイノベーションです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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TaC コーティング受容体
Semicorex TaC コーティング サセプタ (タンタル カーバイド コーティング サセプタ) は、半導体製造やその他の高温用途で使用される高度に特殊なコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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炭化タンタルコーティングチャック
Semicorex タンタルカーバイド コーティング チャックは、高温および高ストレス環境で使用するために設計された精密設計コンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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CVD TaC コーティングリング
Semicorex CVD TaC コーティング リングは、優れた耐摩耗性、熱安定性、化学的不活性性を必要とする要求の厳しい用途向けに設計された高性能コンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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SiCシャワーヘッド
Semicorex SiC シャワー ヘッドは、エピタキシャル成長プロセスに不可欠なコンポーネントであり、特に半導体ウェーハ上の薄膜堆積の均一性と効率を高めるように設計されています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
