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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
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密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
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CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
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コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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|
上記は代表的な値です |
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- View as
TaCコーティングウェーハサセプタ
Semicorex TaC コーティング ウェーハ サセプタは、炭化タンタルでコーティングされたグラファイト トレイで、ウェーハの品質と性能を向上させるために炭化ケイ素のエピタキシャル成長に使用されます。優れた SiC エピタキシー結果とサセプタ寿命の延長を確実にする高度なコーティング技術と耐久性のあるソリューションを備えた Semicorex をお選びください。*
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TaCコーティングガイドリング
TaC コーティング ガイド リングは、炭化タンタル コーティングを施したグラファイト リングで、結晶の品質を高めるために炭化ケイ素結晶成長炉で使用するために設計されています。高度なコーティング技術を備えたセミコレックスをお選びください。優れた耐久性、熱安定性、最適化された結晶成長パフォーマンスを保証します。*
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超硬タンタルガイドリング
Semicorex 炭化タンタル ガイド リングは、炭化タンタルでコーティングされたグラファイト リングで、種結晶のサポート、温度の最適化、成長安定性の向上のために炭化ケイ素結晶成長炉で使用されます。 Semicorex は、結晶成長の効率と品質を大幅に向上させる先進的な材料と設計を備えているためお選びください。*
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
