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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメーター |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
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CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500â |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
±20um代表値(35um±10um) |
|
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|
|
上記は代表的な値です |
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- View as
TaCコーティングチャック
セミコレックス TaC コーティング チャックは、半導体炉専用に設計された TaC コーティングを備えた最先端の真空チャックです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティングエピタキシャルプレート
当社の工場からTaCコーティングエピタキシャルプレートを安心してご購入いただけます。 Semicorex TaC (タンタルカーバイド) コーティングエピタキシャルプレートは、優れた耐熱性を誇り、高温にさらされる用途に最適です。優れた耐熱性により、要求の厳しい環境でも耐久性と信頼性が保証されます。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコートプレート
Semicorex TaC コーティング プレートは、SiC エピタキシャル プロセスで使用するために設計された特殊なディスクで、高品質のグラファイト材料から精密に作られています。その表面は、その卓越した純度と強度で知られる化合物である炭化タンタル (TaC) で注意深くコーティングされています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティング治具
Semicorex TaC コーティング ジグは、半導体製造プロセス内で極めて重要なコンポーネントとして機能し、グラファイトから細心の注意を払って作られ、炭化タンタル コーティングの弾性層で強化されています。この重要な機器要素は、最先端の材料科学と精密工学の融合を体現しており、半導体製造で普及している厳しい運用要求と厳格な基準を維持するように設計されています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティング業者
Semicorex TaC コーティング サセプタは材料工学の頂点を代表するもので、高品質のグラファイトから細心の注意を払って作られ、炭化タンタル コーティングで強化されています。主に SiC 結晶成長および SiC エピタキシャル プロセスでの使用を目的として設計されたこの革新的なコンポーネントは、極端な熱環境および化学環境における耐久性と性能の指標として機能します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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炭化タンタルコーティングリング
Semicorex タンタルカーバイドコーティングリングは、半導体プロセスで使用される重要な部品です。半導体機械内のグラファイトコンポーネントの効率と寿命を向上させるために複数の機能を果たす特殊なコーティングを使用して設計されています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
