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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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|
上記は代表的な値です |
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- View as
エピタキシャル成長における TaC コーティング部品
Semicorex エピタキシャル成長用 TaC コーティング部品は、半導体のエピタキシャルプロセスの空気取り入れ口に位置する貴重な機械加工部品です。セミコレックスは、中国におけるCVD TaCコーティング技術に特化し、世界中に製品を輸出している一流企業です*。
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TaCコーティングされた種結晶ホルダー
TaC コーティングされた種結晶ホルダーは、半導体材料の成長環境向けに特別に設計された高性能コンポーネントです。 TTaC コーティングされた種結晶ホルダーの大手メーカーとして、セミコレックスはハイエンド半導体製造分野で効率的なコアコンポーネントソリューションを提供します。
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TaCコーティングペデスタルサポーター
Semicorex TaC コーティング ペデスタル サポーターは、エピタキシャル成長システム用に設計された重要なコンポーネントであり、特にリアクター ペデスタルをサポートし、プロセス ガス流量分布を最適化するように調整されています。 Semicorex は、優れた構造的完全性、熱安定性、耐薬品性を組み合わせた高性能で精密設計のソリューションを提供し、高度なエピタキシー アプリケーションで一貫した信頼性の高いパフォーマンスを保証します。
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TaC コーティングされた遊星プレート
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
