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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
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コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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上記は代表的な値です |
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- View as
TaC コーティングるつぼ
Semicorex TaC コーティングるつぼは、高品質の半導体結晶を追求する上で不可欠なツールとして登場し、材料科学とデバイス性能の進歩を可能にします。 TaC コーティングるつぼの特性のユニークな組み合わせは、結晶成長プロセスの厳しい環境に理想的に適しており、従来の材料に比べて明確な利点を提供します。**
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TaCコートチューブ
Semicorex TaC コーティング チューブは材料科学の頂点を表し、高度な半導体製造で遭遇する極端な条件に耐えるように設計されています。 TaC コーティング チューブは、化学蒸着 (CVD) によって高純度等方性グラファイト基板上に TaC の緻密で均一な層を塗布することによって作成され、要求の厳しい高温で化学的に攻撃的な環境において、従来の材料を上回る魅力的な特性の組み合わせを提供します。 **
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TaCコートハーフムーン
Semicorex TaC コーティングされたハーフムーンは、パワー エレクトロニクスおよび RF アプリケーション向けの炭化ケイ素 (SiC) のエピタキシャル成長において、説得力のある利点を提供します。この材料の組み合わせは、SiC エピタキシーにおける重要な課題に対処し、ウェーハ品質の向上、プロセス効率の向上、製造コストの削減を可能にします。私たちセミコレックスは、品質とコスト効率を融合した高性能の TaC コーティング ハーフムーンの製造と供給に専念しています。**
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TaCコートシールリング
Semicorex TaC コーティングされたシール リングをシール コンポーネントに適用すると、半導体製造の厳しい環境において優れた性能上の利点が得られます。 TaC コーティングは、耐薬品性、極端な温度、機械的摩耗に関連する重要な課題に対処し、プロセス歩留まりの向上、装置の稼働時間の増加、そして最終的には製造コストの削減を可能にします。私たちセミコレックスは、品質とコスト効率を融合した高性能 TaC コーティング シール リングの製造と供給に専念しています。**
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炭化タンタルコーティングされたレシーバー
Semicorex タンタルカーバイドコーティングサセプタは、半導体ウェーハの作成に不可欠な成膜プロセスにおいて極めて重要な役割を果たす重要なコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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超硬タンタルチャック
Semicorex タンタルカーバイド チャックは、半導体製造装置で使用される高度なコンポーネントであり、その優れた熱的特性と機械的特性で知られています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
