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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場

TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。



炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。


Semicorex TaCコーティングの材料データ

プロジェクト

パラメータ

密度

14.3 (gm/cm3)

放射率

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

硬度(HK)

2000

抵抗 (オーム-cm)

1×10-5

熱安定性

<2500℃

グラファイトの寸法変化

-10~-20um(参考値)

コーティングの厚さ

≧20um代表値(35um±10um)



上記は代表的な値です




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