中国 TaCコーティングメーカー、サプライヤー、工場

TaC コーティンググラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。

炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャルプロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。

Semicorex TaCコーティングの材料データ

プロジェクト	パラメータ
密度	14.3 (gm/cm3)
放射率	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
硬度（HK）	2000
抵抗 (オーム-cm)	1×10^-5
熱安定性	<2500℃
グラファイトの寸法変化	-10～-20um(参考値)
コーティングの厚さ	≧20um代表値(35um±10um)

上記は代表的な値です

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TaCコーティングウェーハトレイ

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Semicorex LPE SiC-Epi Halfmoon は、エピタキシーの世界において不可欠な資産であり、高温、反応性ガス、および厳しい純度要件によってもたらされる課題に対する堅牢なソリューションを提供します。**

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CVD TaC コーティングカバー

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TaCコーティングガイドリング

Semicorex TaC コーティングガイドリングは、有機金属化学気相成長 (MOCVD) 装置内の重要な部品として機能し、エピタキシャル成長プロセス中に前駆体ガスの正確かつ安定した供給を保証します。 TaC コーティングガイドリングは、MOCVD リアクターチャンバー内の極端な条件に耐えるのに理想的な一連の特性を備えています。**

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Semicorex TaC コーティングウェーハチャックは、半導体製造の重要な段階である半導体エピタキシープロセスにおける革新の頂点に立っています。最高品質の製品を競争力のある価格で提供するという当社の取り組みにより、当社は中国における長期的なパートナーとなる準備ができています。*

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Semicorex は TaCコーティングを長年生産しており、中国のプロの TaCコーティングメーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。

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