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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場

TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。



炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。


Semicorex TaCコーティングの材料データ

プロジェクト

パラメータ

密度

14.3 (gm/cm3)

放射率

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

硬度(HK)

2000

抵抗 (オーム-cm)

1×10-5

熱安定性

<2500℃

グラファイトの寸法変化

-10~-20um(参考値)

コーティングの厚さ

≧20um代表値(35um±10um)



上記は代表的な値です




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CVD TaC コーティングリング

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TaC コーティングされた遊星サセプタ

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Semicorex TaC コーティング プラネタリー サセプタは、半導体製造のエピタキシャル プロセスで使用するために設計された高度に特殊化されたコンポーネントです。 Semicorex は、最高品質の製品を競争力のある価格で提供することに専念しています。私たちは、中国でお客様と長期的なパートナーシップを確立したいと考えています。*

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超硬タンタルコーティングガイドリング

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Semicorex 炭化タンタル コーティング ガイド リングは、半導体産業向けに特別に設計された高度なコンポーネントであり、炭化ケイ素 (SiC) 結晶の成長において重要な役割を果たします。この製品は、半導体結晶成長プロセスに固有の高温および高ストレス環境の厳しい要求を満たすように設計されています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。

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炭化タンタルコーティンググラファイトるつぼ

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Semicorex 炭化タンタル コーティング グラファイトるつぼは、半導体産業、特に炭化ケイ素 (SiC) 結晶の成長で使用するために設計された特殊なコンポーネントです。この高性能るつぼは、その独自の材料組成と構造設計により際立っており、高度な結晶成長プロセスにおいて不可欠なツールとなっています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。

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炭化タンタルるつぼ

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Semicorex 炭化タンタルるつぼは、半導体業界の重要なコンポーネントであり、特に炭化ケイ素 (SiC) 結晶の成長用に設計されています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。

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炭化タンタルハーフムーンパーツ

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