私たちの工場からICPエッチングキャリアを購入しても安心でき、最高のアフターサービスとタイムリーな配送を提供します。 Semicorex ウェーハ サセプタは、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用して、炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトでできています。この材料は、高温および耐薬品性、優れた耐摩耗性、高い熱伝導率、および高い強度と剛性などの独自の特性を備えています。これらの特性により、誘導結合プラズマ (ICP) エッチング システムを含むさまざまな高温アプリケーションにとって魅力的な材料となっています。
カスタマイズされたサービスを提供し、長持ちするコンポーネントの革新を支援し、サイクル タイムを短縮し、歩留まりを向上させます。
Semicorex の SiC コーティングされた ICP コンポーネントは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ処理プロセス用に特別に設計されています。微細なSiC結晶コーティングにより、当社のキャリアは優れた耐熱性、均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。
続きを読むお問い合わせを送信エピタキシーや MOCVD などのウェーハ処理プロセスに関しては、Semicorex のプラズマ エッチング チャンバー用高温 SiC コーティングが最適です。当社のキャリアは、微細な SiC 結晶コーティングにより、優れた耐熱性、均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP プラズマ エッチング トレイは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ処理プロセス用に特別に設計されています。最高 1600°C の安定した高温耐酸化性を備えた当社のキャリアは、均一な温度プロファイル、層流ガス フロー パターンを提供し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP プラズマ エッチング システム用 SiC コーティング キャリアは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ処理プロセス向けの信頼性が高く、コスト効果の高いソリューションです。当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供する微細な SiC 結晶コーティングを特徴としています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の誘導結合プラズマ (ICP) 用炭化ケイ素被覆サセプタは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ処理プロセス用に特別に設計されています。最高 1600°C の安定した高温耐酸化性を備えた当社のキャリアは、均一な温度プロファイル、層流ガス フロー パターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチング ウエハー ホルダーは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウエハー処理プロセスに最適なソリューションです。最高 1600°C の安定した高温耐酸化性を備えた当社のキャリアは、均一な温度プロファイル、層流ガス フロー パターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信