SiC コーティングされた ICP コンポーネント

Semicorex の SiC コーティング ICP コンポーネントは、高温と耐薬品性が必要なウェハ処理プロセスに最適です。当社のキャリアは均一な熱プロファイル、層流ガス流パターンを提供し、微細な SiC 結晶のおかげで汚染や不純物の拡散を防ぎます。微細な SiC 結晶コーティングを施した当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社の SiC コーティング ICP コンポーネントは価格面での優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。
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SiC コーティングされた ICP コンポーネントのパラメータ

SiCコーティングICPコンポーネントの特長

- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。

高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定

高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。

耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

- 最適な層流ガス流パターンを実現

- 熱プロファイルの均一性を保証

- 汚染や不純物の拡散を防止します。