エッチングプロセス用の信頼性の高いウェーハキャリアをお探しですか? Semicorex の炭化ケイ素 ICP エッチング キャリア以外に探す必要はありません。当社の製品は、高温や過酷な化学洗浄に耐えるように設計されており、耐久性と寿命が保証されています。清潔で滑らかな表面を備えた当社のキャリアは、新品のウェーハを扱うのに最適です。
Semicorex の炭化ケイ素 ICP エッチング キャリアを使用すると、最適な層流ガス フロー パターンと熱プロファイルの均一性を確保できます。当社の製品は、薄膜堆積およびウェーハハンドリングプロセスにおいて可能な限り最高の結果を達成するように設計されています。優れた耐熱性と耐腐食性を備えた当社のキャリアは、要求の厳しい用途に最適です。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社の炭化ケイ素 ICP エッチング キャリアは価格面で優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。
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炭化ケイ素ICPエッチングキャリアのパラメータ
CVD-SICコーティングの主な仕様 |
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SiC-CVDの特性 |
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結晶構造 |
FCC βフェーズ |
|
密度 |
g/cm3 |
3.21 |
硬度 |
ビッカース硬さ |
2500 |
粒度 |
μm |
2~10 |
化学純度 |
% |
99.99995 |
熱容量 |
J kg-1 K-1 |
640 |
昇華温度 |
℃ |
2700 |
感覚の強さ |
MPa(室温4点) |
415 |
ヤング率 |
Gpa (4pt曲げ、1300℃) |
430 |
熱膨張 (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
熱伝導率 |
(W/mK) |
300 |
炭化ケイ素ICPエッチングキャリアの特長
- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性:1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
- 最適な層流ガス流パターンを実現
- 熱プロファイルの均一性を保証
- 汚染や不純物の拡散を防止します。