当社は専門メーカーとして、SiCエピタキシーを提供したいと考えています。そして、最高のアフターサービスとタイムリーな配達を提供します。 Semicorex は、ウェーハをサポートするために使用される CVD 炭化ケイ素コーティングされたグラファイト サセプタを供給しています。 高純度の炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイト構造は、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。微細な SiC 結晶コーティングは、きれいで滑らかな表面を提供します。これは、新品のウェーハがその領域全体の多くの点でサセプタと接触するため、取り扱いにとって重要です。