Semicorex SiC コーティング ヒーターは、半導体熱分野向けに設計された CVD SiC コーティングされたグラファイト加熱コンポーネントであり、高温処理装置において効率的な発熱、優れた耐食性、および長期信頼性を提供します。 Semicorex は、高度な CVD コーティング技術、精密エンジニアリング、信頼性の高いグローバル配送に裏付けられた、カスタマイズされた SiC コーティングされたグラファイト ヒーターと完全な熱フィールド ソリューションを世界中の半導体メーカーに供給しています。*
Semicorex SiC セラミック パドルは、高温の半導体炉プロセスにおける信頼性の高いウェーハのハンドリングと搬送のために設計された高純度の炭化ケイ素カンチレバー ウェーハ キャリアで、優れた熱安定性、低汚染性、長寿命を実現します。 Semicorex は、高性能 SiC セラミック炉コンポーネントを世界中の顧客に供給し、半導体および太陽光発電産業向けにカスタマイズされた設計、精密製造、信頼性の高いグローバル納品を提供します。