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Semicorex の高純度三花弁グラファイトるつぼは、極端な半導体の熱環境下で結晶成長の収率を最大化するように設計された革新的な応力緩和アーキテクチャを備えています。 Semicorex は、ワールドクラスの半導体材料ソリューションを世界中に提供し、信頼性の高いグローバル ロジスティックスに裏打ちされた精密設計のグラファイトおよびセラミック コンポーネントで先進産業を支援します。

Semicorex ハーフムーン コンポーネントは、LPE スタイルのエピタキシャル成長チャンバーで使用するために設計された、精密に設計されたグラファイトおよび炭化ケイ素でコーティングされたリアクター部品です。これらのコンポーネントは、半導体製造で使用される高温エピタキシャル堆積プロセス中の熱均一性、ガス流の安定性、およびプロセスの清浄度を維持する上で重要な役割を果たします。 Semicorex は、LPE チャンバー構造と互換性のあるカスタマイズされたリアクター コンポーネントの製造を専門とし、先進的なエピタキシャル処理システム向けの高性能ソリューションを世界中に提供しています。*

Semicorex SiC 横型炉管は、半導体の拡散、酸化、アニーリング、熱処理システム用に設計された高度な高温プロセス コンポーネントです。 Semicorex は、高性能 SiC 横型炉管を世界中の顧客に供給し、高温プロセス装置や高度なウェーハ製造アプリケーション向けに信頼性の高い半導体グレードのセラミック ソリューションを提供しています。

Semicorex SiC セラミック ガイド レールは、半導体製造、精密光学、フラット パネル ディスプレイ製造、およびハイエンド オートメーション システムにおける超精密位置決めアプリケーション向けに設計された高度なモーション コントロール コンポーネントです。 Semicorex は、高性能 SiC セラミック ガイド レールを世界中の顧客に供給し、優れた精度、信頼性、長期的な動作安定性を備えた高度なセラミック ソリューションを提供します。

Semicorex 炭化ケイ素 SiC 真空チャックは、高精度の半導体処理用に設計された精密セラミック ウェーハ保持コンポーネントで、優れた熱安定性、優れた平坦性、超クリーンな真空吸着性能を備えています。 Semicorex は、高度な SiC 材料技術、精密機械加工能力、および厳格な半導体グレードの品質管理を組み合わせて、信頼性の高い真空チャック ソリューションを世界中のお客様に提供しています。*

高品質の多孔質炭化ケイ素セラミックで製造された Semicorex 多孔質 SiC 真空チャックは、薄くて壊れやすいウェーハをきれいに損傷なく取り扱うために特別に設計された高精度ウェーハ クランプ ツールです。 Semicorex を選択すると、最先端の半導体製造プロセスに最適なウェーハのクランプおよび位置決めソリューションをお楽しみいただけます。