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円筒形グラファイトヒーター

Semicorex の円筒形グラファイトヒーターは、単結晶シリコン成長のホットゾーン用に特別に設計された抵抗加熱デバイスです。 Semicorex は、プレミアムな材料選択と実証済みの加工技術に支えられ、業界をリードするパフォーマンスと大幅に低い総所有コストを備えた比類のない加熱ソリューションを大切なお客様に提供しています。

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LPCVD用炉心管

Semicorex LPCVD 用炉管は、均一で緻密な CVD SiC コーティングを施した精密製造の管状コンポーネントです。先進的な低圧化学蒸着プロセス用に特別に設計された LPCVD 用 Semicorex 炉管は、適切な高温、低圧の反応環境を提供して、ウェハ薄膜蒸着の品質と歩留まりを向上させることができます。

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グラファイト絶縁シールド

Semicorex グラファイト断熱シールドは、熱効率を向上させ、炉の重要なホットゾーン構造を保護するように設計された高温硬質グラファイトフェルトコンポーネントです。 Semicorex は、安定した品質、短納期、競争力のあるコストを備えた信頼性の高いホットゾーンコンポーネントを提供します。*

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ウェーハ真空チャック

Semicorex ウェーハ真空チャックは、高度な半導体リソグラフィプロセスにおける安定したウェーハ固定とナノメートルレベルの位置決めのために設計された超精密 SiC 真空チャックです。 Semicorex は、より短い納期、競争力のある価格、迅速な技術サポートを備えた、輸入真空チャックに代わる高性能の国内製品を提供します。*

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15インチクォーツベルジャー

Semicorex 15 インチクォーツベルジャーは、超高純度の溶融シリカから細心の注意を払って作られた高精度の反応チャンバーコンポーネントです。最も要求の厳しい半導体環境向けに設計されており、化学蒸着 (CVD)、物理蒸着 (PVD)、およびエピタキシャル成長プロセスの重要な透明バリアとして機能します。Semicorex は、高品質でコスト効率の高い製品を世界中の顧客に提供することに熱心です。

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SiCセラミック真空チャック

Semicorex SiC セラミック真空チャックは、高純度の焼結高密度炭化ケイ素 (SSiC) から製造されており、高精度のウェーハのハンドリングと薄化のための決定的なソリューションであり、比類のない剛性、熱安定性、およびサブミクロンの平坦性を提供します。 Semicorex は、世界中の顧客に高品質でコスト効率の高い製品を提供することに熱心です。*

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