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Semicorex のスリーピース グラファイトるつぼは、単結晶シリコン成長プロセス用に特別に設計された高性能分割グラファイト コンテナです。ハイエンドの半導体熱処理に最適な Semicorex の 3 ピースグラファイトるつぼは、石英るつぼとその内部材料を確実にサポートし、単結晶構造の制御された成長を実現します。

Semicorex 炭化ケイ素炉管は、先進的な半導体産業の高温フロントエンド プロセス向けに特別に設計された高性能 SiC コンポーネントです。 Semicorex 炭化ケイ素炉管は、その優れた性能により、極端な温度、腐食性ガス、急激な熱変動などの過酷な動作環境に耐えることができます。

セミコレックスCVD SiCコートウエハボートは、高信頼性、優れた清浄度、長寿命を特長とする超高純度炭化ケイ素製の高精度セラミック搬送ツールです。 Semicorex CVD SiC コーティングされたウェーハボートは、ウェーハ熱処理の理想的なソリューションとして機能し、搬送および処理段階でウェーハの安全かつ安定した位置決めを実現できます。

Semicorex 上部電極接地リングは、高度な半導体エッチングおよび堆積システムにおける電位を安定させ、均一なプラズマ分布をサポートする超高純度 CVD SiC プラズマ制御コンポーネントです。 Semicorex は、精密 CVD SiC 接地リングとプラズマ対向半導体コンポーネントを世界中に供給し、主要な半導体装置メーカーにカスタマイズされた寸法、電気特性、信頼性の高いグローバル納品を提供します。

Semicorex エッチング エッジ リングは、ウェハ エッジ周囲のプラズマ分布を制御し、エッチングの均一性、プロセス精度、および全体的な半導体製造パフォーマンスを向上させる高純度 CVD SiC プラズマ対向コンポーネントです。 Semicorex は、精密エンジニアリングと信頼性の高い世界供給に支えられ、高度な CVD SiC フォーカス リング、アース リング、シャワーヘッド、カスタマイズされたプラズマ制御コンポーネントを世界中の半導体メーカーに提供しています*。

Semicorex の石英ウェーハ洗浄タンクは、高純度の石英材料で精密に作られており、ハイエンドの半導体製造におけるウェーハのウェット洗浄用に特別に設計された不可欠なコンポーネントです。 Semicorex は、中国の業界をリードする企業として、安定したパフォーマンスとコスト効率の高い石英ソリューションを顧客に提供するよう努めています。