製品

石英拡散管

Semicorex 石英拡散管は、半導体ウェーハ製造業界、特に熱酸化とアニールの重要なプロセスにおいて不可欠です。**

Semicorex 石英拡散ボートは、石英キャリアまたは石英ウェーハボートとも呼ばれ、化学蒸着 (CVD)、熱酸化、アニーリングなどの重要なプロセス中に半導体ウェーハを保持するように特別に設計されています。**

Semicorex の溶融石英リングは、卓越した純度、熱安定性、耐薬品性を備え、半導体エッチングプロセス用に特別に設計された重要なコンポーネントです。 **

Semicorex Al2O3 真空チャックは、薄化、ダイシング、洗浄、ウェーハの搬送など、さまざまな半導体製造プロセスの厳しい要求を満たすように設計されています。 **

セミコレックスアルミナセラミック真空チャックは、半導体製造におけるウェーハの薄化・研削工程に使用され、高精度で信頼性の高い半導体製造を実現するために欠かせないツールです**。

Semicorex SiC コーティングヒーターの CVD SiC コーティングは、有機金属化学気相成長 (MOCVD) やエピタキシャル成長などのプロセスでよく遭遇する過酷で腐食性、反応性の環境から発熱体を保護する優れた性能を提供します。**

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