CVD SiC コーティングされたウェーハボート

高精度ウェーハ処理では、ウェーハのバッチを搭載した CVD SiC コーティングされたウェーハボートが、拡散、酸化、アニーリング、化学蒸着などの一連の熱処理プロセスを経ます。これらのプロセス中にウエハを均一かつ安定して保持することができ、プロセスガスがウエハと均一に反応することができるため、処理結果の一貫性と安定性が保証されます。

1. プレミアム原材料の選択

セミコレックスが生産するCVD SiC- 半導体グレードの炭化ケイ素を使用してコーティングされたウェーハボートとその表面に超高純度 CVD SiC コーティングが施されており、これによりウェーハボートは厳格な半導体処理手順の下でも非常に優れた性能を発揮します。

A. 超高純度

ウェーハボートのベース材料の不純物含有量は 100 ppm 未満であり、CVD SiC コーティングの不純物含有量はさらに 1 ppm 未満です。

B. 優れた耐熱性

Semicorex CVD SiC コーティングされたウェーハボートは、1250 ℃ の高温でも変形、クリープ、破損することなく安定して動作できます。

C. 信頼性の高い耐食性

Semicorex CVD SiC コーティングされたウェーハボートは、優れた化学的安定性により、酸化性および還元性ガス雰囲気下でも長期間安定して動作できます。

D. 優れた機械的強度

セミコレックスCVD SiC コーティングされたウェーハボート機械的強度が安定しているため、頻繁な引き抜き操作による摩耗や傷を効果的に防止できます。

2. 確立された生産能力

Semicorex は、半導体アプリケーション向けの精密セラミック ソリューションを専門とし、経験豊富な技術チームと高度な処理装置を備えています。 Semicorex の優れた生産能力については、次のように詳しく説明されています。

A. 柔軟なカスタマイズサービス

Semicorex CVD SiC コーティングされたウェハボートは 3D プリンティング技術によって形成され、構造、寸法、スロット間隔、スロット深さ、スロット形状、その他の要件をカスタマイズできます。

B. 精密寸法管理

Semicorex は、トップレベルの加工技術と装置の恩恵を受けて、CVD SiC コーティングされたウェーハボートの寸法精度を厳密に管理し、動作中の完璧なウェーハ接触と安定したハンドリングを保証します。

C. 高い生産効率

Semicorex のもう 1 つの優れた生産能力は、生産サイクルの短さです。小型ウェーハボートのリードタイムは35日と適切で、お客様の待ち時間を大幅に短縮します。