セラミックエンドエフェクター

セラミックエンドエフェクタは、ウェハ処理装置とキャリアの間で半導体ウェハを移動させるロボットのハンドです。エンドエフェクターは、デバイスを損傷したり微粒子汚染を生成したりすることなくウェーハを安全に取り扱うために、寸法が正確で熱的に安定であると同時に、滑らかで耐摩耗性の表面を備えている必要があります。当社の高純度シリコンカーバイドセラミックエンドエフェクターは、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高いセラミック エンド エフェクタを提供することに重点を置き、顧客満足を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

セラミックエンドエフェクターのパラメータ

高純度セラミックエンドエフェクターの特長

●高純度SiCコーティンググラファイト

●優れた耐熱性＆均熱性

●微細なSiC結晶コーティングにより滑らかな表面を実現

●薬品洗浄に対する高い耐久性

●ひび割れや剥離が起きにくい材質設計です。