セラミックエンドエフェクター

セラミック エンド エフェクターは、ウエハー処理装置とキャリアの間で半導体ウエハーを移動するロボットのハンドです。エンド エフェクターは、デバイスを損傷したり微粒子汚染を発生させたりせずにウェーハを安全に取り扱うために、滑らかで耐摩耗性のある表面を持ちながら、寸法的に正確で熱的に安定している必要があります。当社の高純度炭化ケイ素セラミック エンド エフェクターは、優れた耐熱性、安定したエピ層の厚さと抵抗のための均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。

Semicorex では、高品質で費用対効果の高いセラミック エンド エフェクターの提供に重点を置いており、顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供しています。高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

セラミック エンド エフェクターのパラメーター

高純度セラミックエンドエフェクターの特長

â 高純度SiCコーティンググラファイト

â 優れた耐熱性と温度均一性

â 滑らかな表面のためにコーティングされた微細なSiC結晶

・薬品洗浄に対する高い耐久性

●割れや剥がれが生じにくい素材設計です。