シリコンウエハーヒーター

Semicorex シリコン ウェーハ ヒーターは、MOCVD を使用してコーティングされた炭化ケイ素であり、不活性雰囲気では 3000 °C 以上、真空では 2200 °C 以上の高温炉で動作できます。 SiC コーティングは、緻密で耐摩耗性の高い炭化ケイ素 (SiC) コーティングです。
当社のシリコンウエハーヒーターは、耐食性、耐熱性に優れ、熱伝導性にも優れています。化学気相成長 (CVD) プロセスを使用して、グラファイト上に SiC を薄層で塗布します。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社のシリコンウェーハヒーターは価格面での優位性があり、ヨーロッパやアメリカの多くの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。

シリコンウェーハヒーターの特長

・炭化ケイ素コーティングはCVD法を採用し、寿命を向上させました。
・高性能精製硬質カーボン製断熱材。
・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 高純度グラファイトと SiC コーティングにより、耐ピンホール性と長寿命を実現

酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの各部品を提供します。