シリコンウェーハヒーター

Semicorex シリコン ウエハー ヒーターは、MOCVD を使用してコーティングされた炭化ケイ素であり、不活性雰囲気で 3000 °C 以上、真空で 2200 °C の高温炉で動作できます。 SiC コーティングは、緻密で耐摩耗性に優れた炭化ケイ素 (SiC) コーティングです。
当社のシリコンウェーハヒーターは、高い耐食性と耐熱性を持ち、熱伝導性にも優れています。化学蒸着 (CVD) プロセスを使用して、グラファイト上に薄い層で SiC を適用します。
Semicorex では、高品質で費用対効果の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社のシリコンウェーハヒーターは価格優位性があり、ヨーロッパやアメリカの多くの市場に輸出されています。私たちは、一貫した高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーになることを目指しています。

シリコンウェーハヒーターのパラメータ

シリコンウェーハヒーターの特長

- 炭化ケイ素コーティングは、耐用年数を向上させるために CVD 法を使用しました。
・高性能精製リジッドカーボン製の断熱材。
・黒鉛基板、炭化ケイ素層ともに熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 高純度のグラファイトと SiC コーティングにより、耐ピンホール性と長寿命を実現

酸化防止、長寿命の黒鉛坩堝、黒鉛金型、黒鉛ヒーターの全部品をご提供できます。