SiCコートウエハーヒーター

Semicorex SiC コーティング ウェーハ ヒーターは、不活性雰囲気では 3000 °C 以上、真空では 2200 °C 以上の高温炉で動作できます。高純度 SiC コーティングされたウェハー ヒーターは、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。微細な SiC 結晶コーティングは、きれいで滑らかな表面を提供します。これは、新品のウェーハがその領域全体の多くの点でサセプタと接触するため、取り扱いにとって重要です。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い SiC コーティング ウェーハ ヒーターの提供に重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

SiC コーティングウェーハヒーターのパラメータ

SiCコートウエハーヒーターの特長

- 高純度SiCコーティンググラファイト
- 優れた耐熱性と均熱性
- 滑らかな表面のためにコーティングされた微細なSiC結晶
・薬品洗浄に対する高い耐久性
・ひび割れや剥離が起きにくい材質設計となっております。