ウエハプロセスヒーター

Semicorex ウェハプロセスヒーターは炭化ケイ素コーティング (SiC) グラファイトで作られており、コーティングは CVD 法によって特定グレードの高密度グラファイトに適用されているため、不活性雰囲気下で 3000 °C 以上の高温炉で動作できます。真空中では2200℃。
ウェハープロセスヒーター材料の特殊な特性と低質量により、高速加熱速度、均一な温度分布、および優れた制御精度が可能になります。他の材料と比較して、炭化ケイ素の表面は、温度の急激な変化で動作した場合でも、熱膨張が低いため平坦なままです。ホット プレートは、半導体処理システムにおける要求の厳しいプロセスに非常に適しています。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社のウェーハプロセスヒーターは価格面での優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。

ウェハプロセスヒーターのパラメータ

ウエハプロセスヒーターの特長

- 耐用年数を向上させるための CVD SiC コーティング。
- 高温耐性、耐食性、長寿命により、ウェーハの品質と歩留まりが向上します。
- 非常に低い熱膨張係数、高温耐性、高い耐摩耗性、優れた絶縁性、優れた化学的安定性、および近紫 (赤色) の可視光透過性を備えています。

酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの各部品を提供します。