Semicorex RTP キャリアは、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用してコーティングされた炭化ケイ素であり、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して非常に安定しています。半導体プロセスの中核であるエピタキシーサセプタは、最初に堆積環境にさらされるため、高い耐熱性と耐腐食性を備えています。また、SiC コーティングを施したキャリアは熱伝導率が高く、熱分布特性にも優れています。
●高純度SiCコーティンググラファイト
●耐熱性、耐薬品性に優れています。
●高い均熱性
●耐摩耗性に優れています。