Semicorex RTP キャリアは、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用してコーティングされた炭化ケイ素であり、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して非常に安定しています。半導体プロセスの核となるエピタキシーサセプタは、最初に成膜環境にさらされるため、高い耐熱性と耐食性を備えています。また、SiCコーティングキャリアは熱伝導率が高く、熱分散性に優れています。
â 高純度SiCコーティンググラファイト
・耐熱性、耐薬品性に優れる
â 高い熱均一性
â 優れた耐摩耗性
Semicorex の RTP グラファイト キャリア プレートは、エピタキシャル成長やウェーハ ハンドリング処理など、半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。当社の製品は、優れた耐熱性と熱均一性を提供するように設計されており、エピタキシー サセプターが高い耐熱性と耐食性を備えた堆積環境にさらされることを保証します。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex RTP SiC コーティング キャリアは、優れた耐熱性と熱均一性を提供し、半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。高品質の SiC コーティングされたグラファイトを使用したこの製品は、エピタキシャル成長の最も過酷な堆積環境に耐えるように設計されています。高い熱伝導率と優れた熱分散特性により、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄で信頼性の高い性能が保証されます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex RTP/RTA SiC コーティング キャリアは、堆積環境の最も厳しい条件に耐えるように設計されています。耐熱性、耐食性に優れ、エピタキシャル成長に最適な性能を発揮するよう設計されています。 SiC コーティングされたキャリアは、高い熱伝導率と優れた熱分布特性を備えており、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して信頼性の高い性能を保証します。
続きを読むお問い合わせを送信MOCVD 用の Semicorex SiC グラファイト RTP キャリア プレートは、優れた耐熱性と熱均一性を提供し、半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。高品質の SiC コーティングされたグラファイトを使用したこの製品は、エピタキシャル成長の最も過酷な堆積環境に耐えるように設計されています。高い熱伝導率と優れた熱分散特性により、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄で信頼性の高い性能が保証されます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC コーティングされたエピタキシャル成長用 RTP キャリア プレートは、半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。高品質なカーボングラファイトサセプタと、グラファイトやセラミックス等の表面をMOCVD処理した石英坩堝により、ウェーハハンドリングやエピタキシャル成長プロセスに最適な製品です。 SiC コーティングされたキャリアは、高い熱伝導率と優れた熱分布特性を保証し、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に信頼できる選択肢となります。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex は、中国におけるシリコン カーバイド コーティングされたグラファイト サセプターの大規模なメーカーおよびサプライヤーです。中国の高い耐熱性と耐腐食性を備えたエピタキシー装置用に特別に設計された Semicorex グラファイト サセプター。当社の RTP RTA SiC コーティング キャリアは、優れた価格優位性を備えており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています.
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