RTP/RTA SiC コーティングキャリア

Semicorex RTP/RTA SiC コーティングキャリアは、成膜環境の最も厳しい条件に耐えるように設計されています。高い耐熱性と耐腐食性を備えたこの製品は、エピタキシャル成長に最適な性能を発揮するように設計されています。 SiC コーティングされたキャリアは、高い熱伝導率と優れた熱分散特性を備えており、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して信頼性の高いパフォーマンスを保証します。

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製品説明

当社の MOCVD エピタキシャル成長用 RTP/RTA SiC コーティングキャリアは、ウェーハのハンドリングとエピタキシャル成長処理に最適なソリューションです。滑らかな表面と化学洗浄に対する高い耐久性を備えたこの製品は、過酷な成膜環境でも信頼できる性能を発揮します。
当社の RTP/RTA SiC コーティングキャリアの材料は、亀裂や層間剥離を防ぐように設計されており、優れた耐熱性と熱均一性により、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して一貫したパフォーマンスが保証されます。
RTP/RTA SiC コーティングキャリアの詳細については、今すぐお問い合わせください。

RTP/RTA SiC コーティングキャリアのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300