RTP RTA SiC コーティングキャリア

Semicorex は、ウェーハをサポートするために使用される RTP RTA SiC コーティング キャリアを供給しています。これは、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して非常に安定しています。  高純度炭化ケイ素 (SiC) コーティングされたグラファイト構造を備えた RTP RTA SiC コーティング キャリアは、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗のための均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。微細な SiC 結晶コーティングは、きれいで滑らかな表面を提供します。これは、新品のウェーハがその領域全体の多くの点でサセプタと接触するため、取り扱いにとって重要です。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い RTP RTA SiC コーティングキャリアを提供することに重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

RTP RTA SiC コーティングキャリアのパラメータ

RTP RTA SiCコートキャリアの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。
- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。
- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。
・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。