RTP SiC コーティングキャリア

当社の RTP SiC コーティング キャリアは、蒸着環境の最も厳しい条件に耐えられるように設計されています。高い耐熱性と耐腐食性を備えたエピタキシャル サセプタは、エピタキシャル成長に最適な堆積環境にさらされます。キャリア上の微細な SiC 結晶コーティングにより、滑らかな表面と化学洗浄に対する高い耐久性が確保され、材料は亀裂や層間剥離を防ぐように設計されています。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い RTP SiC コーティング キャリアを提供することに重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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RTP SiC コーティングキャリアのパラメータ

RTP SiCコーティングキャリアの特長

高純度SiCコーティンググラファイト
優れた耐熱性と均熱性
微細なSiC結晶コーティングにより滑らかな表面を実現
薬品洗浄に対する高い耐久性
ひび割れや剥離が起きにくい素材設計となっております。