専門メーカーとして、私たちはウェハーヒーターを提供したいと考えています。 蒸着装置用のヒーターには、高純度および耐プラズマ性とともに、ウェーハ全体に均一な熱分布が求められます。 Semicorex は、ヒーターやるつぼなどの CVD 炭化ケイ素でコーティングされた加熱アプリケーションを提供しており、当社の高度な加熱コンポーネントは真空蒸着環境の ALD-CVD-PVD プロセスに適しています。