専門メーカーとして、私たちはウェハーヒーターを提供したいと考えています。 蒸着装置用のヒーターには、高純度および耐プラズマ性とともに、ウェーハ全体に均一な熱分布が求められます。 Semicorex は、ヒーターやるつぼなどの CVD 炭化ケイ素でコーティングされた加熱アプリケーションを提供しており、当社の高度な加熱コンポーネントは真空蒸着環境の ALD-CVD-PVD プロセスに適しています。
Semicorex SiC コーティング ヒーターの CVD SiC コーティングは、有機金属化学気相成長 (MOCVD) やエピタキシャル成長などのプロセスでよく遭遇する過酷で腐食性、反応性の環境から発熱体を保護する優れた性能を提供します。**
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