専門メーカーとして、私たちはウェハーヒーターを提供したいと考えています。 蒸着装置用のヒーターには、高純度および耐プラズマ性とともに、ウェーハ全体に均一な熱分布が求められます。 Semicorex は、ヒーターやるつぼなどの CVD 炭化ケイ素でコーティングされた加熱アプリケーションを提供しており、当社の高度な加熱コンポーネントは真空蒸着環境の ALD-CVD-PVD プロセスに適しています。
Semicorex SiC 加熱フィラメントは、高度な半導体製造におけるウェーハ加熱用に設計された炭化ケイ素でコーティングされたグラファイト ヒーターです。 Semicorex を選択するということは、最も要求の厳しい熱プロセスに高純度の材料、高精度のカスタマイズ、および長期にわたるパフォーマンスを提供する信頼できるパートナーを選択することを意味します。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC コーティング ヒーターの CVD SiC コーティングは、有機金属化学気相成長 (MOCVD) やエピタキシャル成長などのプロセスでよく遭遇する過酷で腐食性、反応性の環境から発熱体を保護する優れた性能を提供します。**
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