中国 半導体部品 メーカー、サプライヤー、工場

プロの製造業者として、半導体コンポーネントを提供したいと考えています。 Semicorex は、半導体プロセスを改善するためのパートナーです。当社の炭化ケイ素コーティングは高密度、高温、耐薬品性があり、半導体ウェーハおよびウェーハ処理、半導体製造を含む半導体製造の全サイクルでよく使用されます。

高純度 SiC コーティングされたコンポーネントは、半導体のプロセスに不可欠です。当社の製品は、結晶成長ホット ゾーン (ヒーター、るつぼサセプター、断熱材) 用のグラファイト消耗品から、エピタキシーまたは MOCVD 用の炭化ケイ素コーティングされたグラファイト サセプターなどのウェーハ処理装置用の高精度グラファイト コンポーネントにまで及びます。

半導体プロセスの利点

エピタキシーや MOCVD などの薄膜堆積段階、またはエッチングやイオン注入などのウェーハ処理プロセスは、高温や過酷な化学洗浄に耐えなければなりません。 Semicorex は、高純度のシリコン カーバイド (SiC) でコーティングされたグラファイト構造を提供し、優れた耐熱性と耐久性のある耐薬品性を提供します。

チャンバーの蓋 â
結晶成長とウェーハハンドリング処理で使用されるチャンバーの蓋は、高温と過酷な化学洗浄に耐えなければなりません。

エンドエフェクター…
エンドエフェクターは、ウエハー処理装置とキャリアの間で半導体ウエハーを移動させるロボットのハンドです。

インレットリング â
MOCVD装置によるSiCコーティングのガスインレットリングは、化合物の成長が高く、耐熱性と耐食性が高く、極限環境下でも優れた安定性を発揮します。

フォーカスリング …
Semicorex は、シリコン カーバイド コーティングされたフォーカス リングを提供しており、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して非常に安定しています。

ウェーハチャック â
Semicorex 超フラット セラミック真空ウェーハ チャックは、ウェーハ ハンドリング プロセスで使用される高純度 SiC コーティングです。