スリーピース黒鉛るつぼ

黒鉛るつぼは通常、単結晶炉の中央支持プラットフォーム上に配置され、単結晶の黒鉛ヒーターと石英るつぼの間に配置されます。シリコン成長の過程。これらは、石英るつぼと溶融シリコン材料を安定してサポートし、このプロセス中にポリシリコンを加熱および溶融するために石英るつぼに熱を一貫して伝導することができます。

Semicorex スリーピース黒鉛るつぼの利点

1. プレミアムな材料の選択と材料特性

Semicorex では、高純度の黒鉛材料を使用して 3 ピースの黒鉛るつぼを製造しています。この高水準の原材料選択により、るつぼは以下に示す優れた総合性能を備えています。

A. 超高清浄度

不純物の汚染は、製造中のシリコン結晶の格子構造を損なう重大な危険です。半導体グレードの高純度グラファイト材料を使用することで、単結晶シリコンの成長におけるスリーピースグラファイトるつぼからの不純物の析出によって引き起こされる汚染のリスクを最小限に抑えることができます。

B.優れた熱管理機能

Semicorex の 3 ピースグラファイトるつぼの耐熱性により、高温でも安定した性能が得られ、単結晶シリコンの成長を確実にサポートします。 Semicorex のスリーピース グラファイトるつぼは、その優れた熱伝導率により、効率的かつ一貫したポリシリコンの溶解を実現できます。

C. 信頼できる化学的安定性

Semicorex の 3 ピース黒鉛るつぼは安定した化学的特性を備えており、単結晶成長中の腐食に効果的に抵抗し、反応副生成物から生じる望ましくない汚染を防ぎます。 Semicorex は、お客様向けに TaC および SiC コーティングのオプションも提供しており、高腐食性の動作条件に適したるつぼを製造しています。

2. 独創的な構造設計と精密加工

セミコレックス スリーピース黒鉛るつぼ3つのセグメントで構成され、専用パーツで接続されます。この設計は、従来の一体型グラファイトるつぼに比べて優れた強度を実現します。

A.るつぼの三花弁分割構造により、従来の一体型黒鉛るつぼの材料取り扱いの不便さを解決し、稼働時間を大幅に短縮します。

B.3 ピースのグラファイトるつぼは単一ピースの交換をサポートしており、ユーザーのメンテナンスと交換のコストを効果的に削減します。

C.るつぼの 3 枚花びら分割構造により、温度変動によって引き起こされる熱応力を解放して構造的損傷を回避し、亀裂のリスクを大幅に軽減します。