PECVDグラファイトボート

Semicorex PECVD グラファイト ボートは、太陽電池、化学産業などの用途向けに特別に設計されています。業界のパイオニアとして、当社は画期的な二次精製プロセスを採用し、材料の純度を直接高めます。長時間の動作条件下でも、グラファイトボートはすべての点で優れた均一な抵抗率を維持し、均一な電流分布を確保し、コーティングの色のばらつきを低減し、グラファイトボートの酸化を効果的に遅らせて寿命を延ばします。

二次精製プロセス: 当社の業界初の二次精製プロセスにより、材料の純度が大幅に向上し、製品が最高の品質基準を満たしていることが保証されます。

均一な抵抗率: 長期間の動作期間中であっても、PECVD グラファイト ボートのすべてのポイントにわたる優れた均一な抵抗率により、均一な電流分布が確保され、コーティングの色のばらつきが減少し、生産の一貫性が向上します。

Cコーティング表面処理：PECVDグラファイトボートの表面にはCコーティングプロセスが施されており、表面の平坦性と滑らかさが向上しています。これにより、ボートとシリコンウェーハの間の接触面積が増加し、飽和使用サイクルが延長され、ボートの寿命が延びます。

バランスマシニングプロセス：バランスマシニングプロセスの採用により、PECVDグラファイトボート内の内部応力を最大限に排除し、長期使用後の変形を防ぎ、熱膨張を80％以上大幅に低減し、安定性を向上させます。

太陽電池の製造であろうと化学産業であろうと、当社の PECVD グラファイト ボートはプロセスにおける優れたパフォーマンスと信頼性を保証します。将来への投資、生産効率の向上、製造プロセスの最高水準への到達を保証するために当社の製品をお選びください。