炭化ケイ素カンチレバーパドル

セミコレックス炭化ケイ素カンチレバー パドルは通常、高温処理炉内で水平ウェーハ ボートとともに使用されます。炉心管へのウェーハボートの出入りを正確かつスムーズに行うことができ、半導体製造の安定性と歩留まりを強力にサポートします。 Semicorex 炭化ケイ素カンチレバー パドルは、高温ウェーハ処理用に特別に設計されており、酸素 (反応ガス)、窒素 (保護ガス)、および少量の塩化水素からなる過酷な作業雰囲気下で、約 1250°C で安定した性能を発揮します。

高水準の材料選択

プレミアム製品は上質な原材料に依存しています。 Semicorex は高純度の炭化ケイ素原料を採用し、当社の炭化ケイ素カンチレバー パドルが業界トップクラスの品質であることを保証します。ベースは不純物含有量が 100 ppm 以下に制御された高品質の反応結合炭化ケイ素で作られており、その表面は不純物が 1 ppm 以下に抑えられた CVD SiC コーティングで覆われています。 Semicorex 炭化ケイ素カンチレバー パドルを製造するこの高規格材料は、以下に示す優れた特性を提供します。

1.超高清浄度：セミコレックス炭化ケイ素カンチレバーパドルは高純度を特徴とし、動作中に不要な不純物を放出しないため、ウェーハや処理炉への汚染を根本的に排除します。

2.安定した熱安定性:セミコレックス炭化ケイ素カンチレバー パドルは 1250°C で確実に動作し、炉に出入りする際の急激な温度変化にも耐え、変形や亀裂が発生しません。

3. 優れた機械的強度:セミコレックス炭化ケイ素カンチレバー パドルは、高い硬度と強度を誇り、頻繁な押し引き操作による摩耗や傷に耐えることができます。

4. 信頼できる耐食性:セミコレックス炭化ケイ素カンチレバーパドル優れた化学的安定性により、強アルカリや酸による激しい腐食に耐えることができます。

配慮された設計と精密な加工

セミコレックスは一体型 3D プリンティング技術を使用して炭化ケイ素カンチレバー パドルを形成し、接合部に弱い応力点が発生しないようにし、動作中に信頼性の高い耐荷重を提供します。炭化ケイ素カンチレバーパドルのフル次元のカスタマイズもサポートします。カンチレバー パドルは、長さ、構造、インターフェースの仕様を正確に調整でき、炉管の直径、ウェーハ ボートの寸法、自動ローディング システム、および特定のプロセス要件に完全に適合するように利用できます。