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サポートリング
Semicorex サポート リングは、枚葉式エピタキシー システムで使用される精密ウェーハ持ち上げコンポーネントであり、リフト シャフトおよびリフト ピンと連携してウェーハを持ち上げ、安全かつ正確なロボットによる搬送を実現します。 Semicorex は、精密製造、エンジニアリングの専門知識、信頼性の高いグローバル配信によってサポートされ、高性能半導体コンポーネントとカスタマイズされたプロセス ソリューションを世界中の顧客に提供しています。
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クォーツボート
Semicorex Quartz Boat は、純度と均一な加熱を確保しながら、高温拡散、酸化、アニーリング、その他の熱処理用途中にシリコン ウェーハをしっかりと保持するように設計された精密設計の石英ウェーハ キャリアです。 Semicorex は、高度な製造能力と信頼性の高いグローバル配送に支えられ、高品質の石英処理コンポーネントとカスタマイズされたウェーハ処理ソリューションを世界中の顧客に提供しています。
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SiC熱交換チューブ
セミコレックスSiC熱交換チューブは、シェルアンドチューブ熱交換器の中核となる炭化ケイ素セラミックス製の高性能チューブ状部品です。 Semicorex SiC 熱交換チューブは、炭化ケイ素セラミックの優れた特性を活用し、高温、高圧、強力な化学腐食、高速ガス衝撃、粒子摩耗などの厳しい環境に最適です。
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SiCセラミックボールベアリング
Semicorex SiC セラミックボールベアリングは、セラミックボールとベアリング軌道が炭化ケイ素セラミックで精密に作られた高性能セラミックベアリングです。 Semicorex SiC セラミック ボール ベアリングは、高温および高腐食性の厳しい環境下で高い回転速度と信頼性の高い性能を必要とする用途に最適です。
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SiC コーティングされたグラファイト ウェーハ サセプタ
Semicorex SiC コーティングされたグラファイト ウェハ サセプタは、高密度で均一な CVD SiC コーティングで覆われた不可欠なグラファイト ウェハ キャリアであり、ハイエンド半導体 MOCVD エピタキシャル成長システム用に特別に設計されています。 Semicorex を選択することは、コスト効率の高い価格設定、優れた製品品質、信頼できるサービス エクスペリエンスを得ることができることを意味します。
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Semicorex アルミナセラミックロボットアーム
Semicorex のアルミナ セラミック ロボット アームは、アルミナ セラミック エンド エフェクタとも呼ばれ、主に半導体の前工程製造でウェハの取り扱い、輸送、位置決めに使用される重要なセラミック部品です。 Semicorex のアルミナ セラミック ロボット アームは、信頼できる性能と競争力のあるコストの両方を備えており、高精度で汚染がなく、損傷のないウェーハ搬送を保証できます。
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