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高品質の多孔質炭化ケイ素セラミックで製造された Semicorex 多孔質 SiC 真空チャックは、薄くて壊れやすいウェーハをきれいに損傷なく取り扱うために特別に設計された高精度ウェーハ クランプ ツールです。 Semicorex を選択すると、最先端の半導体製造プロセスに最適なウェーハのクランプおよび位置決めソリューションをお楽しみいただけます。

Semicorex の高純度溶融石英るつぼは、半導体グレードの高純度石英材料で作られており、最先端の半導体製造において重要な容器です。 Semicorex の高純度溶融石英るつぼは、高温単結晶炉での単結晶シリコン成長プロセス用に特別に設計された理想的な石英ソリューションです。

Semicorex 多孔質炭化タンタル セラミックは、特に物理蒸気輸送 (PVT) プロセスで設計された高性能多孔質セラミックです。その特殊な多孔質構造と優れた特性は、高品質の炭化ケイ素結晶の成長を促進する上で重要な役割を果たします。 Semicorex を選択することで、高度な半導体製造向けに一貫した品質と安定した性能を備えた理想的な多孔質セラミック ソリューションが得られます。

Semicorex 半導体用セラミック フォーカス リングは、高強度プラズマ エッチング環境向けに特別に設計された CVD SiC 材料から作られた高性能リング部品です。セミコレックスは半導体用CVD SiCセラミックフォーカスリングの業界トップメーカーです。お問い合わせをお待ちしております。

セミコレックスのエッチング用ポリSi外輪は、ポリシリコン素材を精密加工したリング部品です。先進的なエッチング装置の電極システム向けに特別に設計されたエッチング用 Semicorex ポリシリコン アウター リングは、エッチング プロセスの安定性を効果的に確保します。 Semicorex を選択することは、ウェハの歩留まりと作業効率を向上させることができるエッチング用の高品質ポリ Si 外側リングを入手できることを意味します。

Semicorex シリコン曲面電極は、高精度の半導体エッチング プロセスにおいて上部電極とエッチング ガス チャネルの両方として機能する重要なシリコン コンポーネントです。 Semicorex シリコン曲面電極は、エッチング エネルギー場を最適化するための理想的なソリューションであり、高度なパッケージング (TSV、WLCSP) および 3D 構造のウェーハ用のエッチング装置に広く適用されています。