高純度溶融石英るつぼ

石英るつぼは通常、黒鉛るつぼの内側に設置され、高温単結晶炉のコア領域に配置されます。他の熱フィールドコンポーネントと連携して動作します。ヒータ、絶縁シリンダー、そしてガイドチューブ、高品質の単結晶成長のための安定した汚染のない環境を提供します。 Semicorex の高純度溶融石英るつぼは、多結晶シリコン原料を保持するための不可欠なキャリアとして、過酷な高温および高腐食性の動作条件に耐えることができるため、シリコン融液の均一な加熱と秩序ある結晶成長が保証されます。

Semicorex高純度溶融石英るつぼの利点

1.超高純度

Al、Ca、Cr、Cu、Feなどの不要な金属不純物の内部含有量は極めて低いレベルで管理されています。

トレース元素（単位：ppm）
コード	基準	アル	Ca	Cr	銅	鉄	K	李	マグネシウム	ん	ナ	ティ	ジル
PQ181E	典型的な	13.0	0.50	＜0.05	＜0.05	0.10	0.10	0.30	0.05	0.05	0.10	1.30	1.00
	最大	19.0	1.00	0.10	0.10	0.50	1.00	1.00	0.20	0.20	1.00	2.00	2.00
PQ181EH	典型的な	8.0	0.60	＜0.05	＜0.01	0.10	0.10	0.20	0.05	0.05	0.10	1.30	1.00
	最大	10.0	1.00	0.10	＜0.10	0.50	0.50	0.50	0.20	0.20	0.50	2.00	2.00

上記のデータ参照のみy

2.高温耐性

最大連続動作温度は摂氏 1100 度までです。

3.信頼できる化学的安定性

Si融液との反応性が低く、化学副生成物が発生しません。

4.複数のサイズオプション

直径は 14 インチから 36 インチまであり、カスタマイズもサポートされています。

5.合理的な構造設計

外側の不透明層には均一な加熱のために複数の気泡が含まれており、内側の透明層には気泡含有量が少ないため結晶欠陥が防止されます。

Semicorex高純度溶融石英るつぼの用途

セミコレックス高純度溶融石英るつぼ優れた性能、確かな耐久性、そしてコスト効率の高い価格を特長としており、以下の分野で幅広く使用されています。

1.半導体製造

Semicorex の高純度溶融石英るつぼを使用すると、純度、欠陥密度、電気的特性に関するハイエンド チップの厳しい要件を満たす高品質のシリコンを製造できます。

2.太陽光発電産業

Semicorex の高純度溶融石英るつぼは、太陽電池グレードの単結晶シリコン ウェーハの製造にも適用でき、太陽電池の光電変換効率の向上に役立ちます。