エッチング用Poly-Siアウターリング

通常、次の周囲に配置されます。シャワーヘッド, Poly-Siアウターリングは排気リングとシャワーヘッドの接続部分として機能します。と連携して動作します。静電チャック、Si シャワーヘッド、Si フォーカス リング、Si 排気リング、Si シールド リングにより、高精度のエッチング操作のための安定した信頼性の高いプロセス環境が構築されます。

Semicorex ポリシリコン外輪エッチング加工の利点

Semicorex のエッチング用ポリ Si 外輪は、高品質ポリシリコンから精密に製造されており、以下の優れた特性性能を発揮します。

1.高清浄度、低パーティクル

2.優れた耐高温性と高い耐熱衝撃性

3.信頼できる耐食性

4.優れた電気性能と高い導電率均一性

セミコレックスポリSiエッチング用外輪の機能

1. 安定した接地性能

電極の接地と保護に使用されるエッチング用 Semicorex ポリ Si 外側リングは、静電気の蓄積やアーク損傷を回避し、電極システムの安定した動作を保証し、高度な 3D NAND 製造のプロセス要求を完全に満たします。

2.安心のサポート

Semicorexのエッチング用ポリSiアウターリングは、排気リングとシャワーヘッドを接続する重要なコンポーネントとして機能します。これらは両方の部品に信頼性の高い機械的サポートを提供し、それらを適切な場所に安定して配置します。さらに、エッチングにセミコレックスポリSiアウターリングを使用することにより、エッチングチャンバーでのプラズマエロージョンを防ぐことができ、安定したエッチング処理を効果的に保証します。

3. エッチングプロセスとの互換性

Semicorex のエッチング用ポリ Si 外輪は、不純物含有量が低く、優れた耐食性を備えており、シリコンウェーハの製造との優れた適合性を実現します。これにより、エッチング副生成物の汚染によって引き起こされるウェーハ欠陥が大幅に減少し、半導体製造における高い歩留まりが大幅に保証されます。