多孔質タンタルカーバイドセラミック

Semicorex 多孔質タンタルカーバイドセラミックは、融点が約 3880℃の超高温セラミック材料であり、以下の優れた性能特性により、高温、高腐食の厳しい使用環境においても安定した性能を維持できます。

1. 優れた熱特性

セミコレックス多孔質の最高使用温度炭化タンタルセラミック3200℃まで使用可能で、高温の炭化ケイ素結晶成長条件下でも変形や軟化を起こすことなく長時間安定して動作します。

2. 優れた化学的安定性

Semicorex 多孔質炭化タンタルセラミックは、従来のセラミックよりも優れた耐食性と耐酸化性を示します。結晶成長プロセスにおける高温の酸素やSi蒸気の腐食に効果的に耐えることができます。

3. 特殊な多孔質構造

Semicorex 多孔質タンタルカーバイドセラミックは、均一に分布した内部細孔を特徴とし、気孔率は 10 ～ 60% (カスタマイズ可能)、貫通細孔率は 98% 以上です。この特殊な構造により、SiやCなどの気相元素が結晶成長炉内でスムーズに流動・拡散し、高品質な結晶の成長が大幅に促進されます。

炭化ケイ素結晶成長への応用

PVT プロセスによる炭化ケイ素結晶の成長中、Semicorex 多孔質炭化タンタル セラミックは、主に気相要素の濾過、炉の温度勾配の調整、およびガス材料の流れの誘導で機能します。従来の多孔質 TaC コーティンググラファイト材料とは異なり、Semicorex 多孔質タンタルカーバイドセラミックは明確な利点を示します。TaC被覆グラファイトコーティング処理による貫通気孔率の低さという材料の欠点を克服し、多孔質TaCコーティング黒鉛材料の問題点である使用中に遭遇するコーティング剥離を回避します。 Semicorex 多孔質炭化タンタルセラミックを使用することにより、炭化ケイ素結晶成長における炭素含有欠陥を効果的に抑制することができ、結晶成長品質と製品歩留まりが大幅に向上します。