TaC コーティングされたグラファイトサセプター

卓越した熱安定性: 当社のグラファイト サセプターの TaC (炭化タンタル) コーティングは卓越した熱安定性を確保し、エピタキシャル プロセス中の正確な温度制御を可能にします。この安定性は、ウェーハ成長の均一性を維持し、全体の歩留まりを最適化するために非常に重要です。

均一な熱分布: 当社のサセプタの先進的な設計により、ウェーハ表面全体に均一な熱分布を促進し、優れた結果を達成します。この機能により、温度変動が最小限に抑えられ、エピタキシャル層の品質が向上し、優れた半導体デバイスが得られます。

寿命の延長: 半導体製造の厳しい要求に耐える、耐久性があり長持ちするソリューションのメリットを享受できます。 TaC コーティングは熱性能を向上させるだけでなく、サセプタの寿命にも貢献し、信頼性が高くコスト効率の高いソリューションを提供します。

カスタマイズ可能な設計: カスタマイズ可能な設計オプションを使用して、サセプタを特定のプロセス要件に合わせて調整します。特定のサイズ、形状、コーティングの厚さが必要な場合でも、当社のチームはお客様と協力して、お客様固有のニーズに完全に適合するソリューションを作成する準備ができています。

半導体製造における信頼性、精度、革新性の象徴である TaC コーティング グラファイト サセプターを使用して、ウェーハ エピタキシャル プロセスを自信を持ってアップグレードします。生産能力を向上させ、急速に進歩する半導体テクノロジーの世界で先を行きましょう。