TaCコーティングリング

専門メーカーとして、私たちはTaCコーティングされたリングを提供したいと考えています。半導体装置向けの最先端ソリューションである CVD Tac コーティングリングをご紹介します。この最先端の製品は、優れた耐久性と耐摩耗性を提供する高度な化学蒸着 (CVD) コーティングを誇っています。

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製品説明

専門メーカーとして、私たちはTaCコーティングされたリングを提供したいと考えています。半導体製造プロセスでの使用のために特別に設計された CVD Tac コーティングリングは、高レベルのパフォーマンスと信頼性を提供し、使用するたびに最適な結果を保証します。 CVD コーティングは腐食に対する優れた保護を提供するため、このリングは過酷な化学環境での使用に最適です。

このリングは細部まで精密に製造されており、機器に完璧にフィットします。また軽量に設計されているので、取り扱いや設置が容易です。 CVD Tac コーティングされたリングは、耐熱性のある高品質の素材で作られており、高温下でも完全性を維持します。

TaC コーティングのパラメータ

プロジェクト	パラメータ
密度	14.3 (gm/cm3)
放射率	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
硬度（HK）	2000
抵抗 (オーム-cm)	1×10^-5
熱安定性	<2500℃
グラファイトの寸法変化	-10～-20um(参考値)
コーティングの厚さ	≧20um代表値(35um±10um)

上記は代表的な値です