TaC コーティングされたるつぼ

最高レベルの品質と性能を求める半導体装置メーカーおよびユーザーに最適なソリューションである CVD Tac コーティングるつぼをご紹介します。当社のるつぼは最先端の CVD Tac (炭化タンタル) 層でコーティングされており、耐腐食性と耐摩耗性に優れており、さまざまな半導体用途での使用に最適です。

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製品説明

高品質の素材から作られ、最先端の CVD Tac テクノロジーでコーティングされた当社のるつぼは、優れた性能と寿命を実現します。 CVD Tac コーティングは、化学的攻撃、摩耗、熱衝撃に対する高い耐性を備えた、非常に均一で緻密な層を提供します。これにより、当社のるつぼは繰り返し使用した後でもその形状と寸法が維持され、頻繁に交換する必要性が軽減されます。

当社の CVD Tac コーティングるつぼは、化学気相成長 (CVD)、物理気相成長 (PVD)、原子層成長 (ALD) などの幅広い半導体プロセスとの高い互換性もあります。マイクロチップ、太陽電池、その他の半導体デバイスを製造する場合でも、当社のるつぼは最適な結果を達成するのに役立ちます。

TaC コーティングのパラメータ

プロジェクト	パラメータ
密度	14.3 (gm/cm3)
放射率	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
硬度（HK）	2000
抵抗 (オーム-cm)	1×10^-5
熱安定性	<2500℃
グラファイトの寸法変化	-10～-20um(参考値)
コーティングの厚さ	≧20um代表値(35um±10um)

上記は代表的な値です