炭化タンタルコーティングされたグラファイト部品

Semicorex は、カスタマイズされたサービスを備えた高品質のタンタルカーバイドコーティングされたグラファイト部品を提供します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

製品説明

炭化タンタルでコーティングされたグラファイト部品は、精度、信頼性、過酷な条件への耐性が最重要視される半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たします。エッチングリングやるつぼなどの特別に処理されたコンポーネントは、半導体製造で遭遇する困難な環境に耐えるように設計されています。

エッチングリングなどの炭化タンタルでコーティングされたグラファイト部品は、半導体産業で化学気相成長 (CVD) や物理気相成長 (PVD) などのプロセスに使用される重要なコンポーネントです。これらのリングは、エッチングプロセス中に反応性ガスや高温環境と直接接触します。

炭化タンタルでコーティングされたグラファイト部品は、炭化タンタルの薄い層でコーティングされています。このコーティングは、優れた耐摩耗性と腐食性化学物質に対する保護を提供し、寿命と一貫した性能を保証します。

炭化タンタルコーティングは、エッチングリングの硬度と化学的安定性を高め、劣化や汚染を防ぎます。また、均一なエッチング結果と長寿命化にも貢献します。

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