シリコン湾曲電極

高度なエッチング装置では、通常、シリコン湾曲電極がエッチング チャンバーの上部に半導体ウェーハに面して取り付けられます。シリコン湾曲電極は通常、静電チャック、Si フォーカス リング、Si エッジ リング、Si 排気リング、Si シールド リングと連動して動作し、高精度エッチングに最適な動作条件を提供します。

セミコレックスシリコン曲面電極の機能

1. 複雑な3次元構造のエッチングに対応

優れた 3D 電場制御機能を備えた Semicorexシリコン湾曲電極複雑な構造の幾何学的特徴を完全に一致させることができます。特別な曲面設計により、正確なプラズマ制御と最適化されたエネルギー分布が可能になり、3D 構造エッチングのアスペクト比と側壁の垂直性に大きな影響を与え、高度なパッケージング プロセスと 3D IC 統合の生産ライン要件を完全に満たします。

2. エッチングガス分布の正確な制御

Semicorex シリコン湾曲電極は、エッチング ガスがエッチング チャンバーに入るように、表面に複数の均一に分布した微細穴を備えています。 Semicorex シリコン湾曲電極は、エッチング ガスの正確な制御を実現し、エッチング チャンバー内で均一に分布させることができるため、不均一なガス分布によって引き起こされるプロセスの変動を最小限に抑えることができます。

Semicorexシリコン曲面電極の利点

1.超高純度

セミコレックスのシリコン曲面電極は超高純度の単結晶でできています。シリコン純度レベルが 99.9999999% 以上で、プラズマ浸食に対して優れた耐性を備えています。この高水準の材料選択により、エッチング副生成物から生じる望ましくない汚染を効果的に回避できると同時に、シリコン湾曲電極の耐用年数を大幅に延長することができます。

2. 優れた電気特性

MCZ 成長の単結晶シリコンから製造された Semicorex シリコン曲面電極は、5% 未満の優れた抵抗率均一性と、低解像度という幅広い選択可能な抵抗率範囲を示します。 (<0.02)、中解像度。 (1～4)、およびハイレゾ。 (70–90)。

3. 精密加工精度

Semicorex シリコン曲面電極は、高精度の機械加工により、一貫した孔径と均一な孔分布を実現します。表面は細かく研磨および研削されており、研磨（Ra < 0.1 μm）および研削（Ra < 1.6 μm）されており、全体の加工精度は 0.03 mm 以内に制御されています。