シリコン引き上げ石英るつぼ

シリコン引上げ石英るつぼは通常、単結晶炉の中央ゾーンに配置され、次のような方法で保持されます。黒鉛るつぼシリコンインゴット引き上げ用の断熱バレル、ガイドシリンダー、ヒーターなどの他の熱場コンポーネントと組み合わせて使用​​します。半導体および太陽光発電産業はシリコンウェーハの品質に厳しい要件を設定しており、純度、欠陥密度、転位、不純物レベル（酸素、炭素、金属イオンの含有量など）を厳密に管理する必要があります。シリコン引き上げ石英るつぼは、溶融ポリシリコンを保持する不可欠な容器として、シリコン原料と直接接触するため、ウェーハの品質、生産歩留まり、バッチ全体の安定した一貫性に重大な影響を及ぼします。

Semicorex シリコン引き上げ石英るつぼの利点

1. 高度なクリーン度管理

Semicorex は、PV および半導体グレードの原材料を使用して石英るつぼを製造し、金属汚染を避けるために各製造ステップを厳密に管理しています。当社のシリコン引き上げ用石英るつぼは、業界の厳しい清浄度要件を完全に満たし、シリコンインゴットの結晶品質に影響を与える望ましくない不純物の汚染を大幅に最小限に抑えることができます。

2. 優れた熱管理能力

セミコレックスのシリコン引き上げ石英るつぼ1100 °C では長期安定した使用が可能で、1450 °C では短期間の動作が可能です。当社のシリコン引き上げ用石英るつぼは、極度の高温の作業条件下でも単結晶の連続引き上げ中に変形や崩壊を起こすことなく、信頼性の高い強度を維持できます。

3. 柔軟なサイズオプション

Semicorex は、るつぼの寸法、内部コーティング、気泡レベル、材料純度の点でシリコン引き上げ石英るつぼのカスタム生産を提供しています。直径は 14 ～ 36 インチの範囲にあり、当社のシリコン引き上げ石英るつぼは、小規模な実験室研究と大規模な工業生産の両方に適しています。

Semicorex シリコン引き上げ石英るつぼの用途

1. 太陽光発電産業における太陽電池製造用のシリコンウェーハの製造に使用されます。

2. 半導体製造における集積回路、マイクロ電子デバイス、個別半導体デバイス、および半導体シリコン部品を製造するためのシリコンウェーハの製造に適用されます。

3. 実験室用途での高温発火および溶融実験に使用されます。